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Gigaphoton将准分子激光器用于低温多晶硅退火

半导体光刻光源的主要生产厂商Gigaphoton株式会社发布消息说:该公司已经利用可靠性较高的半导体光刻用准分子激光器成功开发了一种“GIGANEX”系列退...