接触式测量仪与激光位移传感器
接触式测量装置一般会存在这样的一个问题，当其测量头超过一定尺寸后，就无法测量下图所示的凹槽深度。相比而言，激光位移传感器的激光光点尺寸仅有 ø2 µm 或稍大，因此可以执行微观测量。
这样使用了尺寸更小的测量光点就能更为细致地测量微小的形状。
本次推荐的资料将从测量原理开始讲述激光位移传感器的各种特性。
1 共焦原理 LT-9000 系列
建议用于最为精细的测量
2 三角测量法原理 LK-G5000 系列
建议在需要较大间距时使用
3 2D 三角测量法原理 LJ-V7000 系列
建议当目标尺寸超出 LT-9000 系列 的扫描范围时使用
