CO激光技术和CO2激光器一样，产生于二十世纪六十年代中期。CO激光器的吸引力在于其效率可以达到CO2激光器两倍以上。但是，CO激光器也面临了很多挑战：早期的CO激光器需要进行冷却来获得高功率，实现高效率(超高功率型号的激光器事实上需要低温冷冻)，这样激光器的输出功率就急速下降;使用寿命最多只有几十个小时。因此，CO2激光技术“获胜”，成为气体激光器的标准。
Coherent公司开发了一种专利技术，在室温条件下使得CO激光器在5-6μm的极高输出功率下高效运行，并持续数千小时。Coherent公司新型 CO激光器采用了多年来应用于该公司CO2激光器上的大部分技术。Coherent公司开发出波导和板状设计的CO激光器，从而可以进行高平均连续波功率和高峰值功率脉冲操作。CO激光器的输出功率大致是CO2激光器的70%。例如，Coherent公司J-3系列中的CO激光器能产生约230W的功率(室温条件下)，输出波长为5μm;而同样的J-3系列CO2激光器能产生340W的功率，输出波长为10.6μm。
在5μm波长进行材料加工有很多好处，最大的好处是“轻质材料”间的相互作用。在5μm输出时，由于不同的吸收率，和CO2激光器输出相比，相互作用大为不同。在很多膜剂、聚合物、印制电路板(PCB)电介质、陶瓷和复合材料中吸收率更强。波长5-6μm的激光在硫属化物和重金属氟化物纤维中的极低衰减量为纤维间传递提供了可能。
