牛津仪器推出了硅漂移探测器新产品X-Max Extreme，该探测器在场发射电镜及聚焦离子束扫描电镜应用中，能够获取突破性的超高分辨率。这款独特的探测器第一次使得能谱仪能够在非常低的加速电压下(1kV 到3kV之间)采集数据，并且在非常短的工作距离进行元素分析。
近年来，超高分辨率的场发射扫描电镜在更小的纳米结构、界面和表面观察中展示了令人激动的分析功能。然而，在非常短的工作距离、非常低的加速电压、和非常小的束流条件下，传统的硅漂移探测器很难进行元素表征。新的X-Max Extreme改变了这一切。X-Max Extreme为有效探测面积为100mm2的无窗型能谱仪，它能够在较短的工作距离下采集数据。利用X-Max Extreme，能够同时进行成像和EDS分析，而且能谱分辨率接近扫描电镜的分辨率。
X射线业务部门经理Simon Burgess表示：“X-Max提供超出传统微米或纳米分析的解决方案。例如，X-Max Extreme的灵敏度允许用户表征表面污染物和几个原子层厚的样品的成分组成及分布。对于轻元素，包括锂，它也能够提供一流的检测。”
