日前,由国家光栅制造与应用工程技术研究中心申请的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”获得财政部批准,获支持经费超过1亿元。
光栅制造技术是一种超精密加工技术,光栅刻划机被称为“精密机械之王”,要达到大刻划面积和高刻划精度标准,必须要有一流的精密机械加工、精密光学加工、精密自动控制和恒温隔震技术作为前提。由于我国机械制造领域技术能力与国外存在较大差距,我国至今没有高精度大尺寸光栅的制造能力,难以满足我国光谱仪器行业、大科学工程和军事应用的特殊需求。
本项目在我国长期技术积累、关键技术获得突破的基础上,依托中科院长春光机所,联合国内相关技术力量研制具有自主知识产权的大型高精度衍射光栅刻划系统。该系统利用首创的三层台结构、承重兼导向的一体式石英刀架导轨、支撑丝杠的主副螺母结构和金刚石刀具的中途连续切换技术,实现连续运行与间歇刻划相结合的独特工作方式,保证高精度大尺寸光栅的刻划。
通过“大型高精度衍射光栅刻划系统”项目的实施,我国有望建成总体实力和影响力与法国Jobin-Yvon公司、美国Newport公司相当的光栅研究和生产基地,从而满足我国战略高技术以及高水平科学仪器发展需求,打破美国等发达国家对高精度大尺寸光栅的垄断。