株式会社山武开发出超高速应答数字气体流量控制器

   日期:2006-03-20     来源:株式会社山武    

株式会社山武开发出具备300ms高速应答能力的数字气体流量控制器“CMQ-V系列”,于1月24日开始销售。
CMQ-V系列是替代1997年上市的CMQ系列的新机种,是搭载了山武独自生产的超微小热式流速传感器的气体流量控制器。它是一种采用高度的PID控制技术驱动比例驱动器的高性能气体流量控制器。与旧系列相比,控制的应答性更快(500ms→300ms),控制精度更高(1%FS→0.5%FS、可选时能达到1%SP),并且通过将电源回路和模拟回路绝缘,能减低安装成本。
标准规格的型号能对应空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳、都市煤气、沼气、丙烷、丁烷、氢气、氦气,每种型号都有一体型显示和分离型显示可供选择。
山武自1997年开发出CMQ系列以来,发挥微流量传感器的1ms(1000分之1秒)高速应答能力,为市场提供了采用独特的控制演算法和流路设计的产品。液晶背照光和荧光灯等玻璃加工工程(熔接、切断)中使用的烧嘴的空燃比控制性能及氮气、氩气、氢气等工业燃气的流量控制性能远远找过其它厂家的产品,拥有很高的市场占有率。
本次新开发的CMQ-V系列适用于要求高速控制和抗噪音的成膜装置,以及要求更高的绝对精度的燃料电池评价装置。第1年度的销售额预计为15亿日元(约合1亿人民币),3年后达到30亿日元(约合2亿人民币)。

■产品特长
●实现了300ms以下的高速控制。在“从全闭状态到设定流量的整定”或“设定值变更”方面也表现出惊人的高速性。
●提高了精度和重复性
标准燃气型号中,标准全量程流量为200mL/min至50L/min的机种。

(1) 标准规格
精度: ±0.5%FS(0%≦Q≦50%FS)
±1.0%FS(50%重复性: ±0.25%FS(0%≦Q≦50%FS)
±0.5%FS(50%(2) 高精度规格(可选)
精度: ±0.2%FS(0%≦Q<20%FS)
±1.0%SP(20%≦Q≦100%FS)
重复性: ±0.1%FS(0%≦Q<20%FS)
±0.5%SP(20%≦Q≦100%FS)

氢气对应型号,标准全量程流量为500mL/min至200L/min的机种。
精度: ±0.5%FS(0%≦Q≦40%FS)
±1.0%FS(40%±2.0%FS(80%重复性: ±0.25%FS(0%≦Q≦40%FS)
±0.5%FS(40%

注意事项:

1) Q表示流量的设定值

2) %FS表示全量程的误差

3) %SP表示设定值的误差

●本体内部的电源回路和模拟回路之间绝缘。采用PLC等通过模拟输出输入方式控制多台本体时,即使PLC一侧的模拟块的各通道间并不绝缘,也能使用共用电源。无需为每台本体准备电源,也不会发生因周围电路引起的不良现象。
●标准规格型号在低于50kPa的低差压领域也能进行控制,而且能用于燃料燃气等的低压输送的应用中。
●增加了电流输出输入信号(4~20mA、0~20mA)
●可以使用市场上买得到的AC适配器(AC100~240V、需另外购买)
●增加了以下功能:
多个SP设定功能(8点)
控制量程的任意设定功能

 
  
  
  
  
 
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