安捷伦科技(Agilent Technologies)公司发布适用于Agilent B1500A半导体器件分析仪的下一代 EasyEXPERT参数分析软件。EasyEXPERT 2.0为半导体器件表征提供直观和面向任务的方法。它可用于在非生产应用中,如工艺流程开发、建模、可靠性和缺陷分析中测试器件。Agilent还推出了Desktop EasyEXPERT 2.0,该软件允许用户在基于MS Windows的PC上快速和容易地开发应用测试和执行数据分析。用户现在第一次实现了在他们的参数分析仪上和在台式PC上运行同样的参数测试软件,从而为实验室和工作台上的参数测试建立无缝的实验室和开发环境。
Agilent Hachioji半导体测试事业部副总裁兼总经理Minoru Ebihara说:“EasyEXPERT 2.0和Desktop EasyEXPERT 2.0为在实验室环境工作的工程师提供原先只有参数测试生产环境才具有的能力。从我们去年推出以来,EasyEXPERT的直观方法已被业内广泛接纳。我们预期该版本的强大新能力与Desktop EasyEXPERT选项的结合,将能帮助我们客户进一步提高他们的生产能力。”
EasyEXPERT 2.0所具有的新能力包括新的快测试模式,为Agilent B2200A和B2201A改进的开关矩阵控制功能,以及新的自动数据输出选件。这些特性使从事半导体工艺流程表征和开发的工程师和科学家能通过自动化的方法完成过去许多需要手工执行的任务,如对园片的重复测量和用图形方式比较结果而提高效率和降低成本。
到目前为止,EasyEXPERT还只能在Agilent B1500A半导体器件分析仪上使用,它已从2005年8月开始出货。对于新发布的EasyEXPERT 2.0,Agilent将为新的和现有的Agilent B1500A客户提供该软件的免费版本Desktop EasyEXPERT 2.0。Desktop EasyEXPERT 2.0在基于MS Windows的PC上运行,使用户能快速和容易地开发应用测试和执行数据分析。由于Desktop EasyEXPERT允许用户把这些功能移到独立的PC上,因此就能几乎100%地利用B1500A的测量资源。如果PC上已安装Agilent I/O库和GPIB(通用接口总线),那么就可用Desktop EasyEXPERT 2.0从外部控制B1500A。
EasyEXPERT 2.0中新的快速测特性提供高效的自动测试环境,使用户能使用驻存在半自动晶园片检测器上的园片图同步测试序列。这就能加快原来复杂和费时的过程和降低测试成本。EasyEXPERT 2.0也可改进Agilent B2200A和B2201A开关矩阵的控制功能。使用户能容易地在被测器件(DUT)间切换,以及用快速测试模式自动化模块内的DUT选择。用户还能利用新的自动输出能力,对使用交互或快测试模式得到的数据精确选择文件名、数据格式和目标,从而增强数据管理能力。
由于Desktop EasyEXPERT是在标准PC上运行,由此用户能完全控制PC的硬件配置和符合公司认定的IT标准。预期Desktop EasyEXPERT的未来版本将支持在半导体工艺流程表征中使用的其它Agilent仪器。就像在B1500A上驻存的该EasyEXPERT版本一样,Desktop EasyEXPERT支持GPIB通信,因此用户能用GPIB命令直接控制其它仪器。
除了改进的诸多特性外,EasyEXPERT 2.0还包括新的转换工具,因此Agilent 4155和4156半导体参数分析仪的当前用户在升级到B1500A时,可把它们的设置文件输入到EasyEXPERT环境。这样就可不必重建这些文件,也就能最小化转换成本,使用户能很快开始使用B1500A。
EasyEXPERT 2.0预期在2006年5月1日供货。到那时,现有B1500A EasyEXPERT 1.0用户可进入www.agilent.com/see/B1500A下载免费的软件升级。Desktop EasyEXPERT原版本也为现有和未来B1500A客户免费提供。