Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”压力传感器。与现有产品相比,该公司的第一款MEMS产品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相当的优势。此外,Apogee公司还计划在年内推出六款新的Sensilica产品以满足工业、消费、汽车、医疗和HVAC等领域对压力传感器的需求。
Apogee公司Sensilica传感器的关键性优势在于采用了新颖的制造和设计方法,使传感器的尺寸比现有产品减小了4倍。这种产品无需使用多个元件来实现压力传感,因而有效地降低了成本,提高了产品的可靠性。此外,Sensilica传感器结构牢固,能有效降低传感器在过压条件下出现故障。
第一款Sensilica产品是每平方英寸0-75磅压力的传感器裸片,特别适合寻求极小尺寸下低成本、高性能绝对压力传感测量产品的OEM厂商使用。该公司现已推出工程样品,计划于2005年下半年正式量产。