面向石化行业的MEMS加速度传感器应用研究

中国石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所与中科院上海微系统所紧密合作，经过一年多的努力，目前试制成功以国产MEMS加速度传感器为核心的三分量地震勘探检波器。经过室内检测，该仪器各项性能指标均符合设计要求。
该所承担的国家863计划项目———“面向典型行业的MEMS加速度传感器应用研究”，是用国产的MEMS加速度传感器制造而成的地震勘探数字检波器。最近，南京所在四川达州进行了三分量检波器的野外试验。通过试验，对获取的数据进行了分析，对发现的问题给予了纠正。近期，他们准备再做一次三分量检波器的野外试验，使“面向典型行业的MEMS加速度传感器应用研究”达到野外设计要求。