由西安交通大学研制的一种硅隔离耐高温微型压力传感器,能在-30℃~250℃环境下进行压力测量,并能承受2000℃瞬时高温冲击,从而有效解决了我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下压力测量的技术难题。
常规的硅压力传感器只能在120℃以下进行压力测量,超过120℃时,传感器的性能会严重恶化以至失效,当传感器遇到被测流体大于1000℃瞬时高温冲击时,敏感元件就会被烧坏,导致信号处理系统和电路的极度失调。
西安交大精密工程研究所教授蒋庄德率领课题组经过4年的研究,研制成功的硅隔离耐高温微型压力传感器,解决了瞬时高温冲击下传感器失效的难题。这个产品已在有关单位投入试用,业界人士认为,该产品成本低、性能稳定可靠、工艺兼容性好、体积小、灵敏度高,不仅在静态精度、耐高温工作能力及动态响应能力等技术指标上可与国外同类先进产品媲美,而且在耐瞬时高温冲击、工作量程等性能指标上有独到之处,有效解决了长期困扰企业的高温下进行压力测量的难题。