新型集成窄带通滤光片技术研究列入上海市科技攻关计划

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近日,上海技术物理所王少伟副研究员提出的“新型集成窄带通滤光片技术研究”方案通过有关专家评议,被列入上海市科技攻关计划。

项目组根据目前国内外集成型特征光谱气体传感器所面临的核心技术难题,提出通过组合刻蚀芯片技术与窄禁带通滤光片制备技术结合的方法,以求突破高集成度窄带滤光片的制备难题,为特征光谱气体传感器、光声气体传感器中所需的单色光提供集成窄带通滤光片技术,同时为滤光片式微型光谱仪的研制提供实验基础。

据悉,“十五”期间,国家环保总局计划装备400多个国家网络监测站,350多个环境信息中心,100个城市空气地面自动监测系统,涉及到的仪器市场份额就达十亿至数百亿元,其中的传感器是必不可少的。而光谱特征气体传感器中最核心的技术之一是集成窄带通滤光片技术。该技术的突破无疑将给我国环境监测用传感仪器以及其他光谱仪器的发展带来新机遇,并可实际应用于环境质量监测、污染源监测、室内环境空气质量检测、遥感遥测仪器仪表等方面,大大促进相应传感器集成度的提高和小型化,同时为光谱分光的滤光片式微型光谱仪的研制提供技术支持,还可以为二、三维分光提供技术储备。

来源:上海环保

 
  
  
  
 
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