半导体光刻光源的主要生产厂商Gigaphoton株式会社发布消息说：该公司已经利用可靠性较高的半导体光刻用准分子激光器成功开发了一种“GIGANEX”系列退火装置专用的准分子激光器，该装置搭载于株式会社V Technology的微型激光退火装置上，用于大型液晶制造设备工厂的LTPS(低温多晶硅)的生产。
近年来，为了将在半导体光刻用准分子激光器领域长期积累的技术应用到其他领域，Gigaphoton一直在推进用于FPD制造领域a-Si(非晶硅)膜的微型激光退火工序的准分子激光器的开发工作，并将开发成功的新型准分子激光器“GIGANEX”的试制机交付给了面板生产厂商。 在2016年5月22-27日于美国举办的Display Week 2016上展出了试制面板，引起了巨大轰动。
该“GIGANEX”系列退火装置专用的准分子激光器系V Technology公司生产的装置的专用机，是作为微型激光退火工序的光源开发的。微型激光退火装置的特点是，导入现有的a-Si面板的制造工序后，使a-Si结晶成p-Si(多晶硅)，可以制造8K等规格的高精细面板，这是凭借以前的a-Si工艺所不可能实现的。另外，PLAS还适合于采用以往的激光退火工序难以实现的大型面板规格，并且也可以适用于制造的50~70英寸的电视面板的大型液晶制造设备工厂。
Gigaphoton董事长、总经理兼首席执行官都丸仁先生说：“本公司面向新领域的准分子激光器GIGANEX已经在FPD业界登场。能够为面板生产厂商的LTPS TFT液晶面板的试制成功做出贡献，我们感到由衷的高兴。今后GIGANEX将成为FPD制造领域崭新的解决方案，我们期待着它能够为业界做出贡献。”
