美国吉时利(Keithley)仪器公司日前宣布增强了其ACS(Automated Characterization Suite,自动特征分析套件)软件,纳入了面向半导体可靠性与寿命预测测试应用的WLR(wafer level reliability,圆片级可靠性)备选测试工具。4.0版以ACS软件已有的单点和多点并行测试功能为基础,增加了对数据库的支持,以及最新的RTM(Reliability Test Module,可靠性测试模块)软件工具和备选license以及ACS数据分析功能。此外,新增可靠性测试与数据分析工具使得基于ACS 测试系统进行寿命预测速度比传统WLR测试方案快5倍。在设计新集成电路技术研发、工艺集成和工艺监测阶段,通过加快WLR测试,ACS系统能够大大缩短新产品上市时间。
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