尼康于2006年7月18日上市测量显微镜“MM-400/800”系列,除提高了测量及观测性能外,还可以获得数字图像。其试制品曾在“光技术展2006”(2006年6月7~9日,PACifico横滨会议中心)上参考展出过,并公布了其他规格。
测量及观测性能方面,作为测量显微镜首次配备了TTL激光AF机构。另外,还配备了可准确对焦、通过物镜焦深来抑制测量误差的FA功能,提高了Z轴方向的测量性能。
安装有显微镜用的数码相机,可拍摄观测图像。另外,通过配合使用从测量到数据使用方面均支持的系统“E-MAX”系列,可进行高精度的数码图像测量。数码图像的获得与数据保存的操作均为电动进行,主要操作集中在一个部位。
产品线包括可高精度测量底板、模具和汽车等的型号,以及用于测量半导体元件等微小对象的型号。另外,该产品与可提高测量系统整体精度的新开发的数据处理装置“DP-E1”配合,可用于各种各样的测量用途。价格为100万日元起。