康宁 Tropel 公司近日宣布推出 FlatMaster(R) 1400 液晶显示器 (LCD) 光罩平坦度测量系统。FlatMaster(R) 1400 能对 LCD 光罩进行全表面平坦度测量,具有快速、可重复性以及精确性的特点,因而能满足新一代对平整度的要求。
FlatMaster 1400 的非接触性入射式全面积扫描干涉仪是在康宁 Tropel 现有的 FlatMaster 技术上研制而成,能扫描光罩的表面并缝合滚压一系列 200 mm x200 mm 尺寸的平面,因此它能对尺寸达 1220 mm x1400 mm 甚至以上的光罩进行全面的表面分析。
专为光罩厂商所设计的 FlatMaster 1400 使那些厂商得以监控和改善从研磨到最后抛光的整个生产流程。康宁 Tropel 公司测量仪器销售经理 Erik Jensen 表示:“FlatMaster 1400 能明显改善制程。”他还补充说道:“这一系统能快速测量光罩以显示生产制程是否达标,然后就能在需要时进行制程调整。”
目前,对平板电视及电脑显示器等更高解晰度、更大尺寸的电子产品的需求日益增长,因而需要有更大、更平整的光罩。LCD 光罩是一种包含一个特定格式的基板,这一格式被投影至平整的玻璃面板,从而形成显示器的电路板。在对小型画面进行冲印或曝光时,焦距宽度通常很窄。光罩必须极其平整才能在焦距宽度狭窄的情况下产生清晰的画面。
康宁 Tropel 公司工程经理 Tom Dunn 说:“如果光罩不能被测量,尤其当整个表面的平整度规格小于10mm时,光罩就无从被生产。整个表面的平整度必须被确定,因为单线扫描仪所能收集的信息或自坐标测量仪得到少量的参考点资料是不够的。而康宁 Tropel 的 FlatMaster 1400 则能对整个表面的平整度进行快速而精确的测量,具有优异的可重复性和精确性。”
康宁在6月4日-9日在旧金山举行的2006信息显示学会暨展会中的330展位对 FlatMaster 1400 技术进行了展示。