为了用MEMS实现上述原理的陀螺仪，Boser等人采用了直径1mm的硅环作为旋转物体。在硅环周围配置了容量电极，在静电驱动下，波会在环上环绕。这种MEMS构...

最近，日本某公司和宇宙航空研究开发机构共同开发了用于国产火箭的高精度<span class="highlight">MEMS陀螺仪</span>。该陀螺仪是用于监测火...

传感器的市场越来越强，智能电脑，智能手机，智能汽车，到处都是智能化，加速计，实现了运动控制的使用者接口设计应用。

近年来，不只是电视游戏主机的体感控制器持续发烧，智能手机也必须搭载更多元的MEMS组件，来使产品整合更多元的应用价值，而自电视游戏机、手机、笔记...

据统计，陀螺仪占据消费电子和移动应用中运动传感器41%的盈利，包括加速度计和电子罗盘，共计16亿美元。而2010年的全部运动传感器收益为11亿美元。 ...