中科院电子所研制出MEMS传感器创新产品

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室近日成功研制出基于MEMS(微机电系统)技术的电场传感器系列创新产品，已实现小批量生产和应用。产品已在航空航天、智能电网等多领域。

据业内预测，随着全球电子制造业继续向中国转移，预计2013年至2015年，中国MEMS市场将继续保持两位数增长，到2016年，中国MEMS市场销售额预计将超过350亿元。