微机电系统应用广泛,除日常生活用途之外,在工业及航空航天等领域,作用极为明显。在最近发射升空的嫦娥三号探测器中就大量应用了微机电产品,包含30多个品种。
微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分,逐渐形成一个新的技术领域。从微小化和集成化的角度,MEMS(或称微系统)指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。
目前,发达国家对中国航天微电机领域的封锁最终没能挡住嫦娥三号顺利升空。如果一切顺利,嫦娥三号月球探测器将于12月中旬实现月面软着陆。而中国自产的微电机能否帮探测器平稳着陆,备受关注。嫦娥三号是中国探月工程“绕”、“落”、“回”三部曲中的第二步。但“落”这一步,并非轻而易举。
探月工程副总指挥、中国电子科技集团总经理熊群力表示,嫦娥三号探测器上的各类电机多达30多个品种,分布于天线、电池阵、成像系统、桅杆系统、机械臂系统、探测采样系统等各分系统,每一个环节都不能出错,否则,将直接关系到这次探月任务是否能圆满成功。