加州大学发布高精度MEMS陀螺仪

为了用MEMS实现上述原理的陀螺仪,Boser等人采用了直径1mm的硅环作为旋转物体。在硅环周围配置了容量电极,在静电驱动下,波会在环上环绕。这种MEMS构...
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