信息技术的发展对MEMS传感技术提出更高的要求， 也指引未来发展的方向：1.向高精度发展例如精确制导;2.向高可靠性、宽温度范围发展;3.向微型化发展，如各种便携设备应用;4.向微功耗及无源化发 展;5.向网络化发展，与无线技术结合;6.向智能化数字化发展，与CPU等结合。日前在第八十届中国电子展上，中国电子信息产业发展研究院葛霁博士分享 了他对中国MEMS传感器市场的分析和预测展望。
全球MEMS传感器市场概况
葛霁指出，受全球经济疲软影响，全球MEMS传感器市场增长速度放缓，预计未来几年将保持年均8%的复合增长率，而主要增长动力来自消费电子领 域特别是手机领域，汽车电子领域增幅则有所放缓。未来几年平板电脑和智能手机领域的MEMS传感器应用仍将保持强劲增长，但产品零售价呈逐步下降趋势。
从市场区域来看，美国欧洲市场份额趋于下降。美国地区市场份额保持稳定，仍是全球高端技术及产品的重要发源地，欧洲收到债务危机以及汽车工业下滑的影响，市场份额略有下降，但是以德国、芬兰、法国为代表的欧洲国家MEMS传感器加工产业发展迅速。
亚太（含日本）地区则在平板电脑以及智能手机市场的带动下，市场份额不断上升，市场地位不断提升，其中尤以中国市场的作用不容忽视。
具体看中国MEMS传感器市场，葛霁指出，受全球经济疲软以及国家谨慎的宏观政策影响，2011年中国MEMS传感器市场增速出现放缓的迹象， 但仍然明显高于全球增速。“一方面中国的智能手机、平板电脑、笔记本电脑等整机产品增长率强劲，另一方面MEMS传感器在整机产品中的渗透率将进一步提 高。” 他说。
中国MEMS传感器市场分析
从产品结构来看，压力传感器、加速度计占据较大份额。他说，“压力传感器在中国汽车电子和医疗电子产量进一步增长的带动下，市场份额仍居首位， 但在加速度计的强势扩张下，其市场份额较2010年下降了1.2个百分点，为26.5%。2011年，加速度计在手机、平板电脑、笔记本等产品产量增长的 保障下，加上其在整机中渗透率的进一步提高，市场规模高速增长，2011年实现销售额45.1亿元，市场份额从2010年24.1%提高至25.7%，位 列第二。在中国投影机、打印机等产品巨大产量的支撑下，以及在手机中应用范围的扩大，2011年，DMC微镜阵列、硅麦克风以及喷墨打印头也占有较大市场 份额。”
除了压力传感器和加速度计，陀螺仪增长也非常迅猛。由于在手机以及平板中实现规模化应用，陀螺仪近年达到52%的年平均复合增长率。射频开关与 生物 MEMS器件由于基数较小，且单价坚挺，预计未来仍将保持高速增长。唯一出现负增长的是喷墨打印头，由于产业化较早且技术相对简单，喷墨打印头市场已趋于 饱和。
从应用划分来看，2011年，汽车电子领域MEMS传感器增速放缓，实现销售额62.8亿元，但整体规模以及产品价格都还高于3C应用领域，继 续领跑中国MEMS传感器市场。网络与通信领域MEMS传感器市场规模为43.2亿元，市场份额由2010年的22.9%上升至24.6%，增速为所有领 域最快。加速度计、硅麦克风在手机中应用比例持续提高，一些新型产品如更小尺寸的DMD以及MEMS激光扫描仪、地磁传感器以及微型机械陀螺仪也开始在智 能手机中得到规模化应用，从而助推了该领域MEMS传感器市场规模的快速扩大，但是随着中国汽车工业和汽车电子产业前两年的飞速发展，增速有所放缓。而 2011年平板电脑的快速发展使得计算机领域加速度传感器需求进一步攀升。计算机领域成为中国MEMS传感器的第三大应用市场，市场规模为37.1亿元， 市场份额为21.1%。
从MEMS传感器的品牌结构来看，目前中国市场仍为外资厂商掌握，排名前十的MEMS传感器厂商占据了50%以上的市场份额。
2011年，受益于中国计算机、通信领域整机产量增长，以及手机、平板电脑等3C产品中MEMS传感器应用比重的不断提高，专注于上述领域的 ST、 TI等厂商地位进一步巩固。此外，飞思卡尔、ADI等厂商因其在消费电子、汽车电子、工业控制等多个领域的广泛涉足而在中国MEMS传感器市场取得较好成 绩。专业MEMS传感器厂商Triquint在RF MEMS领域的优势表现，也使得其进入中国十大MEMS供应商之列。博世等整机型MEMS传感器企业市场份额较2010年有所下降。
中国MEMS传感器市场预测
葛霁指出，2012年至2014年，中国MEMS传感器市场将继续保持两位数增长，到2014年，中国MEMS传感器市场销售额预计将达到 246.6亿元。未来三年，在中国3C产品、汽车电子、医疗电子等产品产量继续保持稳定增长，特别是以手机和平板电脑为代表的3C产品快速增长的带动下， 中国MEMS传感器市场规模有望进一步扩大。
从产品结构看，他认为加速度计将居于首位。“加速度计在3C产品中的渗透率不断提高，并在平板电脑中成为标配，未来三年，这一产品市场份额将居 于首位。同时陀螺仪等产品随着技术的进一步成熟，整机渗透率的进一步提高，以及相应整机产品产量的继续扩大，由于其市场基数较小，其市场规模也将呈现高速 增长态势。喷墨打印头则随着打印机产量的稳定，该类细分市场未来三年增长乏力现象将持续。”
从应用结构来看，葛霁指出计算机将成为最活跃的领域。未来三年，中国汽车电子产业增长将会有所放缓，对应的汽车电子领域MEMS传感器市场增速 也将会有所放缓，但是由于汽车电子领域MEMS市场规模较大，所以到2014年，这一领域MEMS传感器市场规模将达77.2亿元，仍然为中国MEMS传 感器市场最大的应用领域。
未来中国网络通信和计算机领域将是MEMS传感器市场增速最快的两个领域，其中计算机领域在平板电脑爆发式增长的带动下，成为最为活跃的一个领域。
消费电子在数码相机、摄像机以及多媒体播放机等整机产品增速难以进一步突破的局限下，其产品市场增速难以提高。
中国MEMS传感器市场趋势分析
葛霁从产品、技术、价格和应用四个方面分析了未来中国MEMS传感器市场的发展趋势。
产品：主力产品性能优化，如加速度计、压力传感器、喷墨打印头等尺寸、功耗等方面的改进。 便携产品尺寸缩小，如DMD微镜阵列等;新型产品规模应用，如地磁传感器等;前沿产品投入研发，如新型MEMS振荡器、基于MEMS技术的存储器、MEMS电池等。
技术：系统集成，从单独的芯片向模块和系统解决方案升级;标准工艺，MEMS传感器产品生产工艺进一步开发以及MEMS与COMS工艺仍将进一 步融合，以推动MEMS传感器标准工艺的建立。此外，为进一步降低产品成本，8英寸MEMS传感器生产线数量逐步增多，而独立的MEMS传感器代工厂数量 的增多，也为MEMS传感器大规模制造技术的发展创造了有利的产业发展环境。
葛霁说，“历史上曾经有许多新工艺都曾号称要取代硅CMOS工艺，但最后的结局都是与CMOS工艺融合了，MEMS工艺也不会例外。特别是成本 下降的趋势下，走向标准的工艺利于大规模制造降低成本。当然也不排除一些厂商会做一些定制、高端的产品，但整体的趋势是走向标准化。”
价格：手机、数码相机、笔记本、平板电脑等3C领域MEMS传感器产品价格下降最快，与之相对，汽车电子、医疗电子等领域中因整机产品对价格不 敏感，因而其中的加速度、压力传感器等MEMS传感器产品价格降幅相对较小。而MEMS喷墨打印头、硅麦克风等产品性能及应用等均已成熟，产品价格也趋于 稳定，一些新产品新应用如用在便携设备中的微机械陀螺仪、地磁传感器等产品价格则下降较快。
应用：葛霁强调说汽车电子仍是目前中国MEMS传感器最大的应用市场，但以平板电脑为代表的计算机领域和以手机为代表的通讯领域确是目前最为活 跃的两个应用领域。目前，加速度传感器和陀螺仪已成为了平板电脑的标配，而一款高端手机可能已经装配有加速度传感器、硅麦克风、DMD微镜阵列、地磁传感 器、陀螺仪、FBAR双工器、MEMS RF射频模块、MEMS激光扫描仪等数种MEMS产品。
另外他特别指出，中国医疗电子特别是便携医疗电子产业的快速发展，也使得这一领域MEMS传感器产品需求快速释放，而消费电子领域在多媒体产品增速不高的影响下，未来发展相对平衡。
未来中国市场预测与展望
“到2014年，中国市场规模增速将保持两位数，加速度计市场份额将位居首位，网络与通信及计算机领域应用增速较快，不断接近甚至超过汽车电子 领域市场规模，”葛霁说。为此他从国家及企业两方面提出了一些建议。对于国家，他认为应该抓住大力发展物联网时机，针对某些产品部署一系列扶持政策，比如 基于 MEMS的流量传感器和加速度计智能电表。
建立一批产业基地，给予相关优惠政策，比如沈阳建设的传感器工业园;积极打造产业链，建立设计、制造、封装及测试平台，充分发挥人力成本优势， 参与国际竞争。对于企业，他认为它们应该抓住中国市场热点，切入细分领域，打造特色产品。而有实力的IC制造企业，则应该积极开展特色晶圆代工业务，把工 艺标准化与高度灵活性和定制化开发结合起来。
