据IHSiSuppli公司的研究，日本地震与海啸冲击全球产业供应链将近两个月之后，全球微机电系统(MEMS)产业完全复原，相对来说几乎未受到这次严重灾害的打击。
迄今为止，MEMS传感器与激励器的供应只受到轻微影响，日本地震对于全球MEMS产业的影响主要体现在需求方面，而不是供应方面。工厂受损的制造商受到的冲击比供应商更为严重，供应链中其它地方的瓶颈也在影响制造商的生产业务。
MEMS器件用于智能手机和平板电脑等多种消费电子产品，而且也用于工业、医疗和航空产业等领域。考虑到全球50家最大的MEMS制造商中有九家是日本企业，而且日本是总部在西方国家的MEMS公司的强大制造基地，日本对于MEMS生产与供应举足轻重。
2010年日本企业MEMS销售额约为13.8亿美元，占全球市场需求的21.3%。佳能、松下、爱普生和电装都位居全球20大MEMS公司之列。
根据日本MEMS厂商和在日本处理MEMS的外国公司的销售额，2010年，在不同程度上，大约占全球销售额32.5%的MEMS传感器和激励器在日本工厂中进行过处理。在日本设有MEMS工厂的西方企业包括：飞思卡尔半导体、KnowlesElectroNIcs、GoodrichCorp.和德州仪器。德州仪器数字光处理(DLP)芯片组中的CMOS电路是在日本生产的。
另外，全球几乎全部数字罗盘都是在日本生产的。这种器件正在迅速成为具备GPS功能的平板电脑和手机的标准配备。IHSiSuppli公司的研究显示，2010年全球数字罗盘出货量达到2.63亿个，比2009年的5800万个剧增354%，预计到2015年将激增到12.8亿个。AKMSemiconductor、雅马哈公司、爱知制钢和阿尔卑斯电气这四家日本公司，生产的数字罗盘合计占全球供应量的97%。
对于全球整体MEMS产业以及日本MEMS产业来说，由于地理布局方面的侥幸因素，所受损失比其它产业要轻。多数MEMS工厂和代工厂位于日本南部的本州，远离日本北方的重灾区。而且，在发生地震和海啸以前，MEMS和罗盘供应商就一直依赖多家工厂进行生产。
