据专家介绍,2007年12月,“国家重大科研装备研制项目——深紫外固态激光源前沿装备研制”立项。该项目利用中科院在深紫外非线性光学晶体及激光技术研究领域保持国际领先地位的优势,计划研制7台(套)(第一批)具有自主知识产权的国际首创/领先的深紫外固态激光源重大科研装备,建立深紫外科学仪器研制基地,取得从材料到器件到应用的全面优势,引领DUV(深紫外)前沿重大科研装备的突破,使我国在该领域的科学与技术位居国际领先地位,推动物理、化学、材料、信息、生命、资环等领域创建新的科技前沿。
中国科学院理化技术研究所的科研人员经过一年半的努力,终于成功研制出全球首台ns脉冲177.3 nm深紫外固态激光源实用化样机。通过优化倍频系统及KBBF先进热管理技术,激光输出功率获重大突破,比2006年提高20倍,稳定输出功率达4 mW,最大输出功率为34.7 mW。