由中科院理化研究所承担的863计划新材料领域“新型深紫外非线性光学晶体材料和紫外、深紫外全固态激光器”课题，通过努力攻关，在深紫外谐波光全固态激光器的研制方面，已取得突破性进展。利用在国际上首次提出的并获得中、美两国专利的KBBF棱镜耦合技术，制作成功光接触KBBF－CaF2棱镜耦合器件，使用这一棱镜耦合器件，以直接倍频方法成功实现了深紫外谐波光输出的三个国际首创：
1.首次实现200nm～193.5nm飞秒激光有效功率输出：200nm的输出功率达到12mW，转换效率超过9.5％；193.5nm的输出功率达到13mW，转换效率超过10％，已经达到实用化要求。
2.首次实现了Nd:YVO4激光的6倍频谐波光177.3nm输出,并获得3.5mW的有效功率输出。
3.首次实现了Ti:Sapphire可调谐激光的4倍频谐波光输出，可调范围达到200至170nm，最大输出功率2.5mW。
开发的Nd:YVO4激光的6倍频器件，已被使用于超高分辨率光电子能谱仪上，在国际上首次研制成功分辨率高达0.36meV的光电子能谱仪，测量出CeRu2等化合物超导体在超导态时，Cooper电子对和超导能隙的形成。超高分辨率能谱仪的研制成功，为未来高温超导体的理论解释将提供重要数据。
深紫外相干光源是指波长短于200nm的相干光。除电子同步辐射光源外，目前只有两种技术能产生这类光源的有效功率输出：一种是准分子激光器，另一种就是使用深紫外非线性光学晶体，通过高次谐波的方法产生深紫外相干光。准分子激光虽然具有输出功率大的特点（10瓦量级），但此光源具有线宽大、光束质量差、操作不便、波长不可调等缺点，使其应用受到很大限制。而全固态深紫外相干光源却具有操作方便、线宽窄、波长可调、易获得单模输出等优点，因此这种光源在光谱能谱仪、激光医疗、光刻技术等方面将得到广泛的应用。
