“无掩模激光干涉光刻研究”荣获四川省科技进步奖二等奖

日期：2005-12-29 来源：四川省科技厅评论：0

　　四川省科技厅公布了2005年四川省科技进步奖评审结果，中科院成都分院系统四项成果榜上有名。成都生物研究所与成都地奥集团合作研究的“中国薯蓣甾体药源植物的研究与产业化开发”荣获一等奖，光电技术研究所的“生物芯片仪器研制”和“无掩模激光干涉光刻研究”分别荣获二等奖。

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