纳米激光定位及应用系统的量测领域

一、位移及角度量测

    1. 纳米精密激光干涉仪长度量测系统可应用于单轴或多轴平台，如显微镜或机台定位系统；
    2. 精密机械及量床校正；
    3. 角度量测、变形研究；
    4. 纳米量测研究和开发；
    5. 同时量测位移及角度；
    6. 非接触表面轮廓量测。

二、振动分析

    1. 高精密振动分析及纳米量测系统；
    2. 非接触任意表面振动分析量测；
    3. 量测微小物体之共振频率。

三、量测及定位系统

    1. 大范围纳米量测及定位系统；
    2. 纳米测头、块规校正系统。

四、干涉式微量天平

    1.快速、高精度微量称重；
    2.包装生产线、填充生产线、有爆炸危险的场合。