Applied HCT硅片切割系统介绍（英文）

先进的切割线技术可改善切割性能、提高生产率并且显著降低浆料成本。然而，实施却是一个重大挑战：必须对硬件、耗材和工艺进行完全优化，才能实现成品率、高生产率和低成本。随着新型切割线技术已被证实足够成熟，可投入生产并能带来更低的总成本，应用材料公司拥有一个积极的发展蓝图，推出这些技术。