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制备高亮度 LED的等离子刻蚀技术

日期：2015-08-24 大小：0.15M

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现在蓝宝石仍是生长HBLED结构的衬底选择。不过，采用蓝宝石生长也存在两个问题：蓝宝石没有完美的晶格匹配，光提取会因为有两个平行的反射面而减少。未来解决这两个问题

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