非晶硅顶电池中的n型掺杂层对非晶硅微晶硅叠层太阳电池性能的影响

摘要：采用超高频等离子增强化学气相沉积技术，逐次高速沉积非晶硅顶电池及微晶硅底电池，形成 pin/pin型非晶硅／微晶硅叠层电池。通常顶电池的n层与底电池的p层均采用微晶硅材料来形成隧穿复合结，然而该叠层电池的光谱响应测试结果表明，顶电池存在着明显的漏电现象 针对该问题作者提出，在顶电池的微晶硅n