A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用

日期：2015-08-28 大小：0.55M

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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料. 材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/ s 高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达613 %的高沉积速率微晶硅太阳电池.

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