紫外激光器及其在激光加工中的应用

紫外激光的波长短，能量聚集集中，分辨率高，特别是具有“冷加工”的特性，能直接破坏连接物质的化学键，而不产生对外围的加热，因此成为加工脆弱物质的理想工具，并能对多种材料进行打孔、切割、烧蚀，在微加工领域中具有广泛的应用。简要介绍了几种紫外激光器的原理特点及其发展现状，并讨论了它在激光加工中的应用。