高端LED MOCVD设备国产化之路探索

作为生产LED芯片的关键设备，MOCVD设备市场一直为欧美企业所垄断。在LED外延芯片领域相对不景气的情况下，当前国内现有的进口MOCVD设备产能利用率仅为五成左右。