MEMS封装技术的发展及应用

日期：2022-09-05 大小：100

当前，国内外半导体集成电路科研水平已基本具备将一些复杂的机电系统集成制作在芯片上的能力，几乎整个1000亿美元规模的产业基础设施都可以用来支持MEMS技术...

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