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完全表征半导体设备、材料或工艺，需要具有三种类型的测量能力：精准直流I-V测量、交流阻抗测量（通常由C-V表测）、 超快或瞬态I-V测量。不久之前，实验室仍需要三个独立的测试系统来获得所有三种类型的测量。