湿敏电容的产生
那么,为什么选择了研制湿度传感器呢?在瓦依萨拉无线电探空仪内,最大的变化需求是湿度测量元件直到70年代初.毛发仍作为湿度元件,虽然它的缺点人所共知,并为此经常抱怨。1935年,瓦依萨拉公司的缔造者,VilhoVaisala士在他的第一封销售函中对毛湿度传感器是这棒评价的:自然,它具有与毛发湿度计同样的弱点。但在后来若干年中没有人能研究出更好、更可靠的方法。直到40年后,湿度冽量技术才形成一种全新的测量方法。
气象传感器的使用要求很多,湿度范围:一90~+60"C,湿度:0~100RH,因此,传感器项目应基于如下准则:
·传感器是电容的,全部是电测的
·传感器没有可动件,可大批量生产。
·传感器可用于整个湿度量程0~10ClRH。
·传感器要体识小,响应快,精确、稳定
·传感器温度依赖性小。
.芬兰技术研究中心于60年代中期就开始研究薄膜技术结构,但电容测量原理却触及K-z)-,瓦依萨拉和芬兰技术研究中心的合作项目由工程学博士TuomoSuntola的研究小组领导,在1971--~1973年期间,该项目取得飞速进展,1973年春天,新的、—体的湿度传感器——湿敏电容诞生了。
湿敏电容的特点
高性价比
优良的线性
能耗低
长时间饱和下快速脱湿
较好抗污染性
高可靠性与长时间稳定性
可用于线性电压或频率输出
快速反映时间
湿敏电容的主要参数
工作范围 0…99[%]RH -40…125℃
供电电压 10V AC (Max)
标称容值 120±10pF
平均灵敏度0.30 pF (MIN:0.27,MAX:0.33)[%]RH
湿度效应 +1℃, +0.015pF
功耗因数 <0.01
湿滞回差 <1[%]RH
线性误差 <±2[%]RH
反应时间 <10秒
工作频率 5k…100kHz(推荐20kHz)
恢复时间150小时结露 <20秒
长期稳定性<1[%]RH/年