多通道石英晶体监测仪

多通道石英晶体监测仪的特点

　　1、RS-232 接口, USB 或以太网可选

　　2、双通道（标准型），四通道可选

　　3、高精度: 0.03Hz at 10个读数/s

　　4、沉积速率/膜层厚度模拟输出

多通道石英晶体监测仪的参数

　　QCM传感器输入：标准型: 2;路 可选: 4路

　　频率范围 ：1-10 MHz

　　频率分辨率：标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec、 可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec

　　频率稳定性：在 0? to 50?C，总计± 2 ppm

　　可选择的测量周期：0.10 to 2 sec (每级增量0.05 sec)

　　测量选择 ：1 to 20 readings

　　存储膜系：99

　　模拟输出：2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚

　　数字输入/输出： 2 路数字输入, 4路继电输出

　　数字接口：标准型: RS-232 、 可选: USB or 以太网

　　电源：0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W

　　CE 标识：Class 1 equipment、 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD

　　安装支架： 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

　　重量： 2.7 Kg (6 lbs)

　　Windows软件(included)：提供远程安装和操作指导，数据录入功能

多通道石英晶体监测仪的使用方法

　　开启速率和膜厚测量，只需先按住Zero键以清除上次读数，然后关闭，打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率，即使操作人员离监测仪一定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了，档板就会自动关闭，同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中，操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先，选“program”键，进入菜单，然后，旋转拨针钮，这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示，而设定的数据可以在辅助界面中找到。