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分布式射频微<span class="highlight">机电系统</span>(Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems, RF MEMS)移相器以共面...

所有类型的传感器在过去几年中都有了很大发展，而且与之前的产品相比，更加精确也更稳定。有的时候，这些传感器使用起来并不简单。面

　　MEMS即微<span class="highlight">机电系统</span>，是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中，微米级立体结构是利...

　

　　纳<span class="highlight">机电系统</span>(Nano-Electromechanical System,简称NEMS)是20世纪90年代末、21世纪初提出的一个新概...