智能传感器这一概念是由国外引进的，通常定义为“带有微处理器，具有信息处理功能的传感器”，传感器很大程度上能让物体慢慢变得活了起来。笔者获悉，...

　　[摘 要]：通过对芯片倒装技术尤其是凸点加工工艺在MEMS设计中的作用进行实例分析，指出倒装芯片不仅是一种高性能的封装模式，还能

　　一、引言 　　MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感

　　在某种程度上，MEMS可以看作CMOS集成电路的扩展。如果将CMOS比喻为人的大脑和神经网络，那么MEMS就是大脑智慧的手臂，为这信息系统

　　当今世界发达国家对传感器技术发展极为重视，视为涉及国家安全、经济发展和科技进步的关键技术之一，将其列入国家科技发展战略计