激光多普勒测量仪的特点和应用
1)激光多普勒测量仪应用多普勒频差效应的原理,结构紧凑、重量轻、容易安装操作、容易对光调校;
2)激光多普勒测量仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。
3)激光多普勒测量仪既可以对几十米甚至上百米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等的微小运动进行精密测量;既可以对几何量如长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
激光多普勒测量仪的特点和应用
1)激光多普勒测量仪应用多普勒频差效应的原理,结构紧凑、重量轻、容易安装操作、容易对光调校;
2)激光多普勒测量仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。
3)激光多普勒测量仪既可以对几十米甚至上百米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等的微小运动进行精密测量;既可以对几何量如长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。