MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。
MEMS陀螺仪包括单轴和双轴MEMS角速度传感器(陀螺传感器)新产品群。该系列主要用于游戏机、输入设备、导航仪、PND(Portable Navigation Device)及数码相机等。
单轴产品可检测偏摆方向。双轴产品备有可检测俯仰方向及滚转方向的品种，以及可检测俯仰方向及偏摆方向的品种。可检测的角速度因品种而异，最大为 30～6000度/秒。输出为模拟信号。各产品备有对各轴信号进行1倍(无放大)输出和放大至4倍的两个端口。降低了温度误差以及随时间变化的误差。零点温度漂移为0.05度/秒/℃。噪声方面，可检测的角速度为最大30度/秒的品种控制在了0.014度/秒/√Hz。
电源电压范围为+2.7～3.6V。封装采用5mm×5mm×1.5mm的16端子LGA。工作温度范围为-40～+85℃。
