激光三角漫反射位移传感器用于测厚有明显优点：
－非常小的测量光斑，是点光面积，如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面积约1mm，它比面积型非接触电容、电涡流传感器，对被测体面积几乎无要求，适合测量非常小面积尺寸厚度；
－较远的测量范围起始间距。它比非接触电容、电涡流传感器起始间距大很多，如真尚有公司ZLDS100激光位移传感器测量量程100mm，测量间距可以达到1000mm。这样传感器可以远离被测体，免受碰坏，及被测体热辐射影响；
－有很大的测量范围，激光位移传感器量程可达2000mm，这是其它传感器很难做到的；
－与被测体材料无关，即金属非金属体，非透明有漫反射条件表面都能测。
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