一、MEMS惯性传感器简介
MEMS惯性传感器包括MEMS角速率陀螺和MEMS线加速度计两大类。MEMS角速率陀螺是没有旋转马达的固态角速率陀螺; MEMS线加速度计是没有质块移动的固态线加速度计。它们都采用进口MEMS芯片，制造采用BIMOS生产工艺和载流焊及表贴工艺技术，电容式输出。形成功能完整的角速率传感器和线加速度传感器。具有高可靠性和高封装坚固性。还具有自检测（Self Test）功能，可实现BIT（Built-In-Test）机内检测。
MEMS惯性传感器特性：
a) 体积小：我公司研制的最小的角速率陀螺只有14×14×7mm3。
b) 重量轻：我公司研制的最轻的角速率陀螺只有12克。
c) 单电源供电，功耗小：多为+5V供电，功耗仅6mA。
d) 测量范围很宽：MEMS角速率陀螺的测量范围低中速型为5°/ S ∽1,000°/ S，高速型是1,000∽12,000°/ S，超高速可高达50,000°/ S 。
e) 耐冲击加速度能力很强：角速率陀螺的标称值多为2,000g；加速度计的标称值多为1,000g。但经有效的集成封装工艺技术可提高十倍，达到20,000g。
f) 非线性小，即线性度较好：一般为＜0.5％F.R，最高可达0.05％F.R。
g) 几乎没有迟滞：输出随输入在满量程范围内的电压值比较确定，作为控制信号和测量信号比较准确。
h) 带宽多可调整：绝大多数用进口芯片研制的惯性传感器的带宽可选≤500HZ的任一带宽；个别惯性传感器的带宽可选≤1,000HZ的任一带宽。但直接进口的MEMS 惯性传感器成品，则一般不可调整。
i) 噪声的影响不大：零位附近存在随机噪声，大约5mV左右，不易滤掉，这种随机噪声随着角速率或加速度的产生其作用就不太明显，作为控制信号和测量信号不受影响。如要对输出信号进行10秒内的积分也无大碍。而＞10秒的积分则需谨慎，可选噪声很小的去试，可对输出信号进行1～4极的滤波，以滤掉随机噪声以外的噪声，得到平滑的信号，以便更好的应用。
j) 可选择是否带温补：特别是对温差变化较大的用户，例如航空飞行器,要考虑温漂的影响,可考虑有温补的。对于导弹类的航天、兵器及民用产品，温度变化不大，则可不考虑温漂的影响，不必温补。
二、MEMS惯性传感器应用的技术领域
应用于武器的制导技术领域
航空航天飞行器控制技术领域
应用于舰船测控技术领域
应用于机动车自动导航和自动驾驶系统、防滑控制系统、碰撞检测系统
应用于工业测控领域：工业机器人、航空摄影、地震监测、气象观测等
应用于桥路建设领域：桥墩打桩的测量与控制系统，路基﹑铁轨的测量与路面铺设的测量与控制系统等
应用于地质勘探领域：定向钻井、大地测量、矿山隧道等
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