浅析高温压力传感器

　　高温压力传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

　　压力传感器应用虽然非常广泛。但是传统的压力传感器的器件主要是一些机械结构型,其原理都是结合压电效应,把弹性体的形变转换成对应压力的大小。

　　高温压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉，熔炉等众多行业。

　　现在,研究比较多的高温压力传感器主要是一些半导体传感器,还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。相比于传统的压阻式压力传感器相比，半导体电容式压力传感器具有灵敏度高、温度稳定性好、功耗小等优点,而且它有个很大的好处是只对压力敏感,对应力不敏感,所以,电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。主要参考的参数：

　　1.测量范围：在允许误差限内被测量值的范围。

　　2.量程：测量范围上限值和下限值的代数差。

　　3.精确度：被测量的测量结果与真值间的一致程度。

　　4.重复性：在所有下述条件下，对同一被测的量进行多次连续测量所得结果之间的符合程度：

　　5.分辨力：传感器在规定测量范围圆可能检测出的被测量的最小变化量。

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