压阻式压力传感器作为一种典型的传感器,目前已经得到了较为广泛的应用,下面我们就压阻式压力传感器的工作原理及其特点来跟大家做介绍。
1、工作原理
压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成。
采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。
2、特点
•精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单;
•便于实现显示数字化;
•可以测量压力,稍加改变,还可以测量差压、高度、速度、加速度等参数。
通过以上关于压阻式压力传感器的工作原理及特点的介绍,希望对大家工作学习有所帮助。