压力传感器的应用非常广泛，工业电子：工业配料称重、数字流量表以及数
字压力表等等。消费电子：太阳能热水器用液位控制压力传感器、洗碗机、饮水
机、洗衣机、空调压力传感器，微波炉、健康秤以及血压计等等。汽车电子：柴
油机的共轨压力传感器、汽车发动机的进气歧管压力传感器、汽车刹车系统的空
气压力传感器以及发动机的机油压力传感器等等。现在很多集成电路之中的四寸
圆形的晶片的很多工艺都是MENS生产出来所用的。但一定要加上三个MEMS工艺的
特有设备：键合机、双面光刻机以及湿法腐蚀台。
美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽
车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力
传感器应对汽车压力系统的压力检测。
为了将压力信号转化为电信号采用了应变原理，将惠斯顿检测电桥通过MEMS技术
制作在单晶硅片上。使得单晶硅片成为一个集应力敏感与力电转换。
对于压力传感器生产商来说，一定要加上价格很昂贵的标准的压力检测的设备。
而MEMS生产商，他们很需要开拓消费电子和汽车电子的范畴的渠道以及销售的经
验。尤其是汽车电子，它对于MEMS压力传感器来说，是越加的重要，在最近几年
的时间里，它的需求量增加得很快。例如：捷伸电子每一年对它的需求量已经达
到二百到三百万个了。随着科技的进步，MEMS压力传感器在市场上的需求量会越
来越大的，而且它的发展前景无比广阔。
