泛华恒兴 质量流量传感器校准系统

a)产品概述

质量流量传感器校准系统作为质量流量传感器生产线终检校准设备，用于小量程质量流量传感器的通讯功能测试以及不同温度下的校准，以保证产品质量及精度。

b)应用专利技术

本系统中以下技术正在申请实用新型或发明专利：

《批量传感器固定可识别装置》
《无绕线针床夹具》
《高密封阀组》
《一种多气路连接器装置》

c)系统功能

d)特性详解

• 兼容多种信号输出类型的传感器——

   

  信号类型	输出方式
  模拟量	电压信号
  数字量	IIC通讯信号
  	SPI通讯信号
  	PWM脉冲信号

   

• 温度可控范围宽，稳定性优异——可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制，温度控制精度为 1℃，目标温度下的温度波动度为 0.2℃；

   

   

• 良好的气路密封性——采用钢质气管，采用少接头设计，确保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次（用不同颜色的曲线代表）泄漏测试时的泄漏率。（单位为sccm/s，测试压力为2.5psi，保压时间 20s，每个传感器夹具包含4条气路）

   

  

   

• 高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm，温度控制精度 1℃。

   

   

• 高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作，8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间，达到160 DUTs/h，满足生产线节拍的要求。

   

   

• 测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程的传感器时不同流量点下（50/100/160/200sccm）的GRR数据，均<10%。

   

  

   

• 便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号，损坏时更该模块即可；气路装拆方便；继电器状态通过指示灯显示，指示直观。

   

• 完善的安全机制——智能流程判断；提供急停等安全操作机制，在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。
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• 关于泛华恒兴

  　　北京泛华恒兴科技有限公司（简称：泛华恒兴），成立于2010年9月，致力为各行业用户提供专业测试测量解决方案和成套检测设备。泛华恒兴拥有一批熟悉各领域的测控行业专家，拥有丰富的测试测量工程经验和多项自主知识产权，并已成为北京中关村地区企业联合会会员及航空航天产业联盟单位。