SLC500是罗克韦尔自动化公司经典的中小型框架式可编程逻辑控制器，具有强大的处理能力，通讯网络、功能模块、存储容量都可以灵活地进行选择和配置，稳定可靠、高性价比、易用的特点多年来在洁净厂房的控制领域有着广泛的应用。
1 项目概况
1.1 BMS系统控制区域
芯片装测试智能建筑管理系统BMS（Building Management System）系统主要控制以下几大区域：
（1）洁净室：提供符合洁净度以及温湿度的生产主厂房；
（2）动力厂房：提供生产需要的冷冻水、冷却水、热水和纯水；
（3）仓库：成品堆放周转区；
（4）办公楼。
1.2 BMS系统工艺与设备
（1） 暖通空调HVAC。（Heating Ventilation and Air-Conditioning），HVAC用于控制洁净室、办公区、仓库区域的温度、湿度、露点以及压力等参数；执行设备有空调机组、调节阀、风机、 泵。空调机组分为新风空调、循环风空调、一般空调等设备。根据半导体洁净设计规范，洁净室要求温度20～26℃，露点：9～11℃；办公区要求温度 20～26℃；仓库区要求温度20～26℃，湿度40%～60%。
（2）冷热源系统。冷冻水系统为工艺冷却水系统和HVAC系统提供低温冷冻水；锅炉和热回收系统则为BMS系统提供热水。
（3）其它子系统。包括排放热量和水汽的排风系统、压缩空气系统、真空系统、工业水系统、纯水系统、废水系统、应急燃油发电系统等。
为了节能，系统对这些被控的风机和泵采用变频器进行控制。
2 BMS自动控制系统的设计
2.1 系统设计
参见图1BMS系统整体结构图。
图1 BMS系统整体结构图
（1） BMS系统功能。工艺过程的画面实时显示和数据记录；过程设备的控制和参数设置；设备诊断和报警，通过GPRS modem以短消息的形式把信息发送到相关人员的移动电话上。BMS系统所有设备的操作分为就地Local（硬手动）和远程Remote两种。在 Local时，只能通过现场的MCC柜对风机和泵进行就地操作，BMS系统仅仅显示其状态；当设备处于远程Remote控制位置时，BMS对此设备的控制 有2种模式，即自动模式和手动模式。设备处于自动模式时，由BMS根据逻辑和现场工况自动启动/停止该设备；设备处于手动模式时，操作员可以用画面上的启 动/停止按钮启/停该设备，并且需要操作进行确认。
（2）BMS系统硬件。系统由15套冗余SLC500系统，3套单机SLC500和11套MiroLogix1200微型PLC组成。控制编程软件 采用RSLogix500，HMI软件系统采用RSView32的ADS（服务器/客户端）系统，同时系统使用数据引擎软件RSSQL 将重要的工艺参数记录到SQL数据库供远程维护和管理。
系统11套冗余的的SLC500的CPU之间采用DH+通讯网络，然后通过双 Ethernet/DH+的网关连接到Ethernet网络，再连接到冗余的服务器Server A和Server B，微型PLC经过串口/以太网网关连接到HMI服务器。其它的PLC直接通过CPU的以太网口连接到HMI服务器。三方设备如冷冻机组和锅炉等采用 Modbus通讯接入系统进行监控。
2.2 系统特点
SLC500控制器＋FLEX远程RIO的结构形式。
（1）功能强大的处理器。
内存容量最多可达64K字，数据/程序内存动态分配，系统资源如定时器等只取决于系统的内存容量；
强大的I/O容量，最大可达8192点I/O；
提供丰富的诊断信息。
（2）稳定可靠。
SLC500提供系统冗余功能；
Flex I/O模块可以带电插拔；
（3）灵活的系统结构和通讯网络。
远程I/O链RIO通讯速度最快230K/bps，最远距离3300m(57.6K/bps)；适合于分布式应用；
灵活的通讯网络选择：CPU内置有DH+/Ethernet/串口；
广泛的开放的标准现场总线选择：EtherNet/IP、 DeviceNet、 ControlNet。
2.3 控制策略
（1） HVAC系统控制。HVAC系统主要是为了保持被控区域特定的温度、湿度、露点以确保产品的质量，控制压差以防止洁净室被室外粉尘的污染并采用VFD技术 达到节能的目的；同时也是为了向洁净室补充一定的新风以保证室内空气质量。典型的新风空调MAH控制原理示意如图2所示。新风首先通过预虑网，经过降温除 湿（夏天）、加热（冬天）、再经高再热终滤网送入各风管，最后经FFU送风口过滤后送入控制区各房间。
