BANNER-高速传感器检测晶圆平稳检测

日期：2007-11-28 来源：美国邦纳工程国际有限公司上海代表处作者：管理员

应用:
半导体晶片扁萍位置的检测

描述:
晶片被旋转到一个固定位置,当晶片将对射模式的光纤光束遮断时,旋转就停止,高速的D12传感器具有优异的50微秒重复精度.

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