BANNER-晶圆凸出和归位检测

日期：2007-11-27 来源：美国邦纳工程国际有限公司上海代表处作者：管理员

应用:
验证晶片没有伸出盒子的界限外

描述:
在转移门被关闭前,利用M12激光发射和S12接受组成一对,来检测是否有晶圆从另外一侧突出

传感器型号:

19

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