目前的加速度传感器有多种实现方式，主要可分为压电式、电容式及热感应式三种，这三种技术各有其优缺点。以电容式3轴加速度计的技术原理为例。电容式加速度计能够感测不同方向的加速度或振动等运动状况。其主要为利用硅的机械性质设计出的可移动机构，机构中主要包括两组硅梳齿(Silicon Fingers)，一组固定，另一组随即运动物体移动;前者相当于固定的电极，后者的功能则是可移动电极。当可移动的梳齿产生了位移，就会随之产生与位移成比例电容值的改变。
倾斜感应在手势识别接口应用领域有巨大潜力，例如，在建筑或工业检查设备等应用中，人们更倾向于单手操作。另一只没有操作设备的手可以腾出来控制桶或操作员站立的平台，或者出于安全考虑抓住绳索。操作员可以简单旋转探针或设备来调整它的设置。
在这种情况下，3轴加速传感器可以像感测倾斜度那样感测出“旋转度”：在存在重力的状态下测量倾斜的低速变化、检测重力矢量的变化，以及确定方向是顺时针还是逆时针。倾斜检测也可以与点击(冲击)识别结合使用，以便操作员能以单手控制设备的更多功能。
设备的位置补偿是倾斜测量的另一重大应用领域。以GPS(全球定位系统)或移动电话中的电子指南针为例，有一个众所周知的难题就是当指南针的放置没有与地球表面平行时，会得到错误指向。
工业机械称也有不少此类的运用。在这种应用中，必须计算一个装有东西的桶绝对地球的倾斜度以便精确得出重量。压力(例如用于汽车和工业机械中)同样受重力作用的影响，这些传感器包含偏移变化取决于传感器安装位置的膜片。在所有这些情况下，MEMS加速传感器执行必要的倾斜度感测，以便进行误差补偿。
