MEMS加速度传感器广泛应用于医疗设备、工业设备、消费电子产品和汽车电子等领域,主要用来测量终端产品的加速度和减速度。终端产品运动模式加速(包括平移运动，如位置和方向的改变)、震动、冲击、倾斜和旋转。除了旋转之外，其它四种运动实事上都是加速度在不同时间段的表现。震动可被认为是迅速且周期性发生的加速和减速运动。类似的，冲击则是瞬间发生的加速，但是不同于震动，冲击是一种非周期性运动，一般只发生一次。与震动和冲击相比，倾斜运动的发生往往相当缓慢。
由于前四种模式的运动感测各自都与加速度有某种关系，它们可通过“g力”(地球引力)来测量，g是万有引力对地球上物体产生的单位力。MEMS加速度传感器通过测量重力对加速度传感器轴的作用力来检测倾斜度。以3轴加速度传感器为例，三个不同的输出分别测量运动的X、Y和Z轴加速度。
时下占市场最大份额的加速度传感器使用差分电容测量g力，接着g力被转换成电压或数据位，最后被传递到微处理器上以便执行某种行为。近来在技术上取得的进步，使业界能制造出低g和高g感测范围的微型MEMS加速度传感器，且比以往产品的带宽更高，从而大大增加了潜在应用领域。低g感测范围是指低于20g，这可以涉及到人类能产生的运动。高g则用于感测与机器或交通工具有关的运动—也就是人类没法产生的运动。
